厂区钢结构封顶比魏工预估的提前了两天。
最后一根主梁落位之后，魏工站在吊车下面，仰头看着螺栓一颗一颗打进去，然后转身跟许锋说：
“许大队长，厂区主体结构今天算正式封顶了，接下来外墙板安装、内部管线、设备基础，三路同步推进。”
许锋看了一眼钢结构骨架的整体轮廓：“洁净车间那边怎样了。”
“墙板和天花板昨天装完了，新风系统今天下午开始调试。古工和苏工已经到了，在三楼。”
许锋点了点头，转身往研究中心走。
这是他最关心的部分，以后的发展就是从这里开始。
洁净车间的门开着，古工站在车间正中央，正用手背贴着墙板表面，感受防静电涂层的均匀度。
苏工蹲在东南角的光学镜组装配工位旁边，拿一把水平尺在量工作台面的平整度。
旁边摊着一本手写检查清单，已经打了十几个对勾。
听到脚步声，古工转过头。
他没有寒暄，直接开口：
“许队长，洁净车间的基础条件达到了要求。环氧地面平整度在正负零点五毫米以内，墙板防静电涂层表面电阻率达标，新风系统过滤等级H14，正压控制在五帕以上。百级洁净度没有问题。”
他顿了一下，把手从墙板上收回来：“条件是有了，现在缺的是设备。”
许锋站在车间中央，扫了一眼四周。
地面平滑如镜，墙板灰白色，空荡荡的工位等待着光学镜组、精密运动平台和曝光系统的进驻。
“光刻机的完整图纸，你们全部看过了吗？”
苏工站起来，把水平尺收进工具箱。
他没有直接回答，而是走到许锋面前，从随身的文件夹里抽出一张折叠的图纸展开。
那是一张光刻机整机布局图，每一个子系统都用不同颜色的线条标注，密密麻麻的尺寸参数填满了图纸的空白处。
“看完了，这份图纸的光学系统设计思路，和我们目前接触过的所有光刻机方案都不一样。它没有用传统的光学缩小投影方式，而是采用了一种基于自适应光学校正的直接成像方案。光学镜组的曲面方程、镜片之间的间距公差、激光光源的相干性补偿算法——这三个核心模块的设计水平，超出了目前公开文献里任何一个方案至少一代以上。”
他把图纸翻到第二页，指着一处光学系统布局图：
“这个非球面镜组的曲面方程，我看第一遍的时候以为数据标错了。算了三遍才确认，没错。就是这个数。”
古工在旁边接了一句：
“这个光学系统设计，不是这一代人的思路。”
车间里安静了几秒。
许锋开口：
“你们还需要什么条件才能开始装配？直接说。”
古工和苏工对视了一眼。
古工先开口：
“光学镜组的毛坯料。高纯度石英玻璃，直径不小于两百毫米，光学均匀性要求在十的负六次方级别。这是镜组加工的基础原材料，没有这个，后续所有工序都无从谈起。”
“这个已经在采购了。样品下周到，赵明远会做材料性能验证。继续。”
苏工接着古工的话往下说：
“精密运动平台的核心驱动组件——磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器。这两个组件决定了运动平台的定位精度，图纸上标注的重复定位精度要求在纳米级别。目前国内常规供应渠道的产品达不到这个精度，需要重新选型或者自己改。”
古工在旁边补充：
“压电陶瓷致动器军科院有储备，精度够用，磁悬浮直线电机需要定制，我已经把参数包发给供应商，初步反馈是能做，但交货周期至少四周。”
许锋在心里默算了一下时间线。
光学镜组毛坯料下周到位，加工周期大约需要两到三周，这是洁净车间里最耗时间的工序。
精密运动平台的定制电机四周到货，和其他组件的装配周期基本重合。
曝光系统的光源模组陈振华已经在军科院那边协调了，预计两周内到位。
综合算下来，光刻机基础版样品的装配调试可以在四个月内完成，比系统最初预估的四到五个月缩短了近一个月的周期。
“电机采购的审批流程如果卡住，直接找龙王。供应那边需要的采购资金走龙牙专项账户，不需要经过常规审批。”
许锋说完，转向古工：
“装配开始之后，你们的工序怎么排？”
古工走到东南角的装配工位前面，用手在空气中比划：
“第一阶段，光学镜组的加工和镀膜。这是整个光刻机装配中最关键的一步，镜片的曲面精度直接决定了曝光系统的成像质量。光学镜组一共七片，其中非球面镜三片，球面镜四片。加工顺序从大尺寸镜片往小尺寸走，三片非球面镜放在最后，因为加工难度最大。”
他的手往西北角移动：
“第二阶段，精密运动平台的装配和调试。运动平台是晶圆承载和移动的核心组件，图纸上标注的定位精度是零点五纳米。这个精度需要在实际调试中反复校准，运动平台装好之后要和光学系统做联合校准，整个调试过程不会少于两周。”
苏工接过了话题：
“第三阶段，总装和试制，光学系统、运动平台、曝光系统、控制系统——四个子系统全部装配到位之后，进行首次联调。联调通过之后进行第一次试制，用试制晶圆验证整机的曝光精度和重复定位精度。”
许锋听完两人的排序：“时间上有什么瓶颈？”
古工没有立刻回答，他走到西北角的运动平台测试台旁边，用手按了一下那个预留的台面。
台面是大理石材质的，表面经过了精密研磨，平整度在微米级别。
“最大的瓶颈不在工序本身，在人。”古工的声音很平静。
“光学镜组的加工，三片非球面镜的曲面方程复杂程度远超常规镜片，每一片都需要连续多天的加工，中间不能停。我和苏工两个人轮班倒可以，但镀膜工序需要专门的设备，那套设备要等加工中心到位之后才能改装。”
许锋转向苏工：
“加工中心什么时候能用？”
苏工从文件夹里抽出一张设备安装排期表，上面标注了每一台设备的安装时间窗口。k
“厂区封顶之后，设备基础浇筑和养护还需要两周。一体式加工中心上周已经运到了，现在暂时存在临时仓库里，等设备基础养护期满就可以安装调试。”
“加工中心安装调试需要一周。镀膜设备的改装可以在加工中心调试完成之后立刻开始，预计需要三到四天。按照这个排期，光学镜组开始加工的时间节点大约在三周之后。”
三周。
许锋在心里把这个时间节点和孙国栋那边冷却系统的进度做了一个对照。
孙国栋的冷却系统原型机也是三周内完成，两者刚好同步。
冷却系统原型机出来之后，如果能赶上光刻机的光学镜组开始加工，激光器整机验证的时间窗口就能卡在同一个周期里。
许锋说：
“三周之后，光学镜组开始加工，冷却系统原型机同步完成。”
“时间窗口对得上。你们和孙工那边保持沟通，激光器整机的核心光学组件需要用光刻机加工的精密镜片，确保这道工序的优先级排在前面。”
古工和苏工同时点了点头。
“还有一件事。”
古工把老花镜从额头上推下来，架回鼻梁。
“许大队长，这份图纸的精度要求，如果放在一年前，我会说国内做不到。现在虽然能做，但需要一个人来统筹所有子系统的衔接，这个人得同时懂光学、精密机械和控制系统。我和苏工各管一摊可以，但整体进度和接口协调需要你来盯。你对这份图纸的理解程度，决定了我们能不能按时交出样品。”
许锋看了古工一眼。
这个老专家说这句话的时候，语气和交代工序排期一样平淡，但话里的分量很明确——他是把光刻机制造的成败押在了许锋对图纸的全局把控上。
许锋心领神会。
“每周一和周四下午四点，洁净车间现场碰头会，所有子系统的进度同步在这里做。接口协调的问题现场拍板，不隔夜。”
古工在笔记本上记了一笔，然后合上本子：“那就这么定了。”